在使用碳化硅微粉作為研磨介質(zhì)切割硅片的過程中,碳化硅微粉在鋼線的帶動下持續(xù)快速沖擊硅料表面,這一過程會釋放出大量摩擦熱量,同時碳化硅顆粒與硅棒之間的碰撞和摩擦而產(chǎn)生細小尖角破損、相對較大的晶硅碎片以及鋼線上金屬屑也將混入切割體系中容易造成過濾帶堵塞。
在切割過程中,被切割開的硅片受切割體系溫度升高會發(fā)生翹曲,同時切割下來的雜物處在切割砂漿和棒之間的時候,將會影響砂漿的切割能力,這種情況下也容易產(chǎn)生線痕,同時這些雜物若進入導(dǎo)輪也容易殘留在導(dǎo)輪槽中,對切割有較大的影響,一定要設(shè)法將切割熱及雜物及時帶出切割體系,因此懸浮液的主要作用是使混有碳化硅微粉的砂漿保持良好的流程性、均勻穩(wěn)定的分散在鋼線上,均勻平穩(wěn)的作用于硅料表面,同時及時帶走熱量和雜質(zhì)顆粒,確保砂漿質(zhì)量來保證切割出的硅片的質(zhì)量。