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　　碳化硅微粉是由美國人艾奇遜在1891年電熔金剛石實(shí)驗(yàn)時(shí)，在實(shí)驗(yàn)室偶然發(fā)現(xiàn)的一種碳化物，當(dāng)時(shí)誤認(rèn)為是金剛石的混合體，故取名金剛砂，1893年艾奇遜研究出來了工業(yè)冶煉碳化硅微粉的方法，也就是大家常說的艾奇遜爐，一直沿用至今，以碳質(zhì)材料為爐芯體的電阻爐，通電加熱石英SIO2和碳的混合物生成碳化硅微粉。下面我們來一起了解一下關(guān)于碳化硅微粉的幾個(gè)事件：
　　1905年，初次在隕石中發(fā)現(xiàn)碳化硅微粉。
　　1907年，首只碳化硅微粉發(fā)光二極管誕生。
　　1955年，理論和技術(shù)上重大突破，LELY提出生長高品質(zhì)碳化概念從此將SIC作為重要的電子材料。
　　1958年，在波士頓召開初次世界碳化硅微粉會(huì)議進(jìn)行學(xué)術(shù)交流。
　　1978年，六、七十年代碳化硅微粉主要由前蘇聯(lián)進(jìn)行研究。到1978年初次采用“LELY改進(jìn)技術(shù)”的晶粒提純生長方法。